華海清科是國(guó)內(nèi)唯一一家能夠提供12寸CMP設(shè)備的高新技術(shù)企業(yè),產(chǎn)品可廣泛應(yīng)用于極大規(guī)模集成電路制造、晶圓平坦化、基片制造等領(lǐng)域。公司核心團(tuán)隊(duì)由中國(guó)科學(xué)院院士雒建斌教授帶領(lǐng),以清華大學(xué)摩擦學(xué)國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室為技術(shù)依托,研發(fā)經(jīng)驗(yàn)豐富。公司目前擁有國(guó)內(nèi)外授權(quán)專利147項(xiàng),軟件著作權(quán)5項(xiàng),生產(chǎn)的CMP設(shè)備廣泛應(yīng)用于中芯國(guó)際、長(zhǎng)江存儲(chǔ)、華虹集團(tuán)、英特爾、長(zhǎng)鑫存儲(chǔ)、上海積塔等先進(jìn)集成電路制造商的大生產(chǎn)線中。
我司參股的石溪產(chǎn)恒基金于2020年3月對(duì)華海清科投資3000萬元,2020年10月,華海清科申報(bào)科創(chuàng)板。
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